證券時報記者 臧曉松

行業(yè)的蓬勃發(fā)展，離不開裝備技術的創(chuàng)新與突破。作為國內原子層沉積（ALD）設備“第一股”，微導納米(688147)通過自主創(chuàng)新實現(xiàn)了核心技術的重大突破，解決了國內半導體和光伏產業(yè)鏈的痛點和堵點。

如今，微導納米在半導體、光伏領域齊頭并進，并持續(xù)加速各細分領域的產品研發(fā)和應用，在保持ALD產品國內市場占有率第一的同時，不斷推出更多具備競爭力的系列產品。尤其值得關注的是，微導納米不僅在國內市場占據重要地位，還在國際市場上展現(xiàn)出了強大的競爭力。公司正在積極響應國家“走出去”戰(zhàn)略，以更加開放的姿態(tài)迎接全球市場的挑戰(zhàn)和機遇。

率先用于光伏領域

今年6月，德國慕尼黑國際太陽能光伏展（Intersolar Europe 2024）盛大開幕。在這場迄今為止全球規(guī)模最大、影響最深的太陽能專業(yè)展覽交易會上，微導納米攜TOPCon整線解決方案迎來歐洲市場“首秀”：除了TOPCon動態(tài)沙盤驚艷亮相外，現(xiàn)場同步呈現(xiàn)了半片技術、XBC、HJT以及鈣鈦礦疊層電池專用設備等一系列前沿產品，引得眾多業(yè)內人士駐足圍觀，進一步了解這家中國企業(yè)的產品及其背后的創(chuàng)新力量。

這場展會上，微導納米還推出全新升級的“夸父”批量式ALD系統(tǒng)，在維持卓越設備性能的同時，整體體積較上一代產品縮減了約30%，產能也提升10%，真正實現(xiàn)了“小而精”的設計理念。需要指出的是，“夸父”背后的ALD技術之所以能成為光伏市場上的“香餑餑”，就源于微導納米的突破性貢獻。

ALD技術全稱為原子層沉積技術，在半導體、光伏、新型顯示、柔性電子、新能源等領域具有多種應用，是非常關鍵的核心工藝之一。微導納米董事會秘書龍文介紹，它通過交替輸入不同的氣體，使得這些氣體在基底上形成原子級厚度的薄膜。由于沉積是在原子層級進行的，所以制備出來的薄膜具有非常好的覆蓋率和均勻性，可以在復雜的形貌結構上進行沉積。

作為國內光伏ALD設備領軍企業(yè)，微導納米的創(chuàng)業(yè)史是一部充滿挑戰(zhàn)的奮斗史。

微導納米成立于2015年，由企業(yè)家王燕清與黎微明博士、李翔博士為核心的半導體薄膜沉積技術領域專家團隊共同創(chuàng)立。其中，黎微明是最早開始研究ALD技術的華人之一，李翔則擁有十余年的半導體器件制造和工藝研發(fā)經驗?；趯LD等先進薄膜沉積技術在中國發(fā)展前景的信心，黎微明和李翔放棄了在國際知名企業(yè)的高管職位，來到無錫這片熱土創(chuàng)業(yè)，希望能夠推動ALD、CVD等半導體技術產業(yè)化應用，填補國內空白領域。

創(chuàng)業(yè)之初，微導納米面臨著資金、人才資源的多重挑戰(zhàn)，業(yè)務發(fā)展也面臨著國外設備公司設下的壁壘。但這些困難并沒有擊垮團隊，反而激發(fā)出他們更加堅定的奮斗精神。

“公司創(chuàng)立之初，必須先培養(yǎng)現(xiàn)金流業(yè)務來保證存活?！蔽Ъ{米總經理周仁向證券時報記者表示，就在微導納米成立后，屬于泛半導體領域的光伏產業(yè)迎來前所未有的發(fā)展機遇，也催生了對先進薄膜沉積設備的巨大需求。王燕清憑借敏銳的市場洞察力，意識到了半導體ALD技術在光伏領域的應用潛力，他與黎微明、李翔一拍即合，決定利用公司在半導體領域積累的技術優(yōu)勢，將ALD技術率先引入光伏產業(yè)中。

2016年，黎微明帶領團隊研發(fā)出批量型“夸父”原子層沉積設備，用于光伏電池片生產過程中的薄膜沉積環(huán)節(jié)，標志著中國自主創(chuàng)新的光伏核心裝備取得重要突破，該設備也被評定為“江蘇省首臺（套）重大裝備產品”。

2022年，N型電池迎來“量產元年”。微導納米圍繞N型電池生產的十大步驟、五大類設備，提供全新的TOPCon整線工藝技術解決方案，打造出業(yè)內領先的下一代高效電池生產線。在團隊的共同努力下，公司在光伏市場上迅速取得了顯著成就，陸續(xù)獲得包括通威太陽能、隆基股份、晶澳太陽能、阿特斯、隆基股份、愛旭股份、晶科能源、天合光能等多家重要光伏客戶的訂單。依靠技術創(chuàng)新上的領先地位，微導納米在光伏ALD設備市場上已經連續(xù)多年穩(wěn)居行業(yè)首位。

助力半導體領域突破

好風憑借力，扶搖九萬里。在光伏領域取得巨大成功后，微導納米又將目光聚焦到對技術和工藝要求更高的半導體集成電路薄膜沉積設備上。周仁向證券時報記者表示，“我們希望通過ALD技術，推動半導體領域的創(chuàng)新發(fā)展?！?/p>

在半導體領域，薄膜沉積設備與光刻機、刻蝕設備并稱為集成電路前道生產工藝中最關鍵的三類設備。隨著半導體器件結構日益復雜，需要堆疊的薄膜層數越來越多，光刻、刻蝕等工藝配合ALD技術，才能制造出數億級復雜的半導體芯片?？梢哉f，ALD是半導體制造最核心的基礎工藝之一，對實現(xiàn)半導體芯片的復雜功能至關重要。

隨著國際局勢的變化，國產半導體設備迎來歷史性機遇。微導納米利用光伏積累的資金和創(chuàng)投資金投入半導體研發(fā)，正式啟動半導體項目，迅速成為國內首家將量產型High-k ALD設備應用于28nm節(jié)點集成電路制造生產線的國產設備公司，實現(xiàn)了國產ALD設備“從0到1”的突破。業(yè)內人士介紹，上述設備技術有效填補國內空白，達到國際先進水平。

2022年12月23日，微導納米在科創(chuàng)板成功上市，為公司的發(fā)展插上騰飛的翅膀。上市后，公司的綜合實力進一步增強，研發(fā)強度與營收增速均高于科創(chuàng)板市場平均水平。以2024年上半年為例，微導納米的研發(fā)投入達到2.29億元，同比增長134.05%，占營業(yè)收入的比重達到29.15%，遠超行業(yè)平均水平。

更加引人關注的是，公司將研發(fā)投入的60%以上投向半導體領域，并且制定了詳細的新產品開發(fā)路線圖，積極推進新產品的研發(fā)，計劃在未來兩年內推出一系列創(chuàng)新產品?！拔覀冊谶壿嬓酒?、存儲芯片、化合物半導體、新型顯示等諸多半導體細分領域實施多元布局，已獲得知名客戶重復批量訂單，成為能與國際巨頭同臺競技的民族企業(yè)之一?！敝苋氏蛴浾弑硎?，“我們期待這些新產品能夠進一步鞏固我們在半導體行業(yè)的領先地位?！?/p>

在國產半導體設備中，CVD設備國產化率僅15%左右，ALD設備國產化率更低，基本上不到2%，在一兩年前甚至接近于零。2023年，微導納米進一步擴展了CVD產品線，憑借在技術上的獨特優(yōu)勢，成功推出高溫無定形碳工藝專用PECVD設備并取得批量訂單，滿足了客戶在多個技術節(jié)點和工藝環(huán)節(jié)對薄膜沉積設備的需求，填補了國內半導體集成電路關鍵技術空白。

談及半導體領域布局的發(fā)展前景，周仁直言，雖然整個國際形勢、半導體設備形勢相對而言比較嚴峻，但是對于微導納米這一類從事“從0到1”的半導體設備企業(yè)來說，現(xiàn)階段是非常重要的戰(zhàn)略窗口期和上行期，所以景氣度還是非常高的。

近年來，微導納米業(yè)績持續(xù)高速增長，成為國內半導體公司中跑出的一匹“黑馬”。

2024年上半年，微導納米實現(xiàn)營業(yè)收入7.87億元，同比增加105.97%，其中半導體設備收入同比增長了812.94%，整體占比逐年提升。截至6月30日，微導納米在手訂單80.85億元，其中光伏在手訂單66.67億元，半導體在手訂單13.44億元。與去年同期相比，半導體在手訂單同比增加了123.09%。相關客戶類型涵蓋了邏輯、存儲、化合物半導體、硅基OLED等領域，其中超過75%的增量訂單來自存儲領域，行業(yè)重要客戶需求表現(xiàn)強勁，形成批量的重復訂單合計已超過7.5億元，體現(xiàn)了市場及客戶的高度認可。

探索新興發(fā)展機會

再將目光拉回到慕尼黑國際太陽能光伏展，微導納米推出的鈣鈦礦新品無疑是展會上的一大亮點。

2023年11月，微導納米自主研發(fā)的鈣鈦礦晶硅疊層電池專用設備順利通過海外客戶驗收，幫助客戶達成商業(yè)化電池（258.15cm）效率最新世界紀錄，完成鈣鈦礦電池產業(yè)化工藝路線拼圖，再次實現(xiàn)國產高端設備逆向出口海外，充分展現(xiàn)了公司在全球新型高效電池領域的強大競爭力。

“我們在光伏里的策略就是抓住當下機遇，同時又儲備未來的技術，來應對整個光伏未來技術轉換的發(fā)展?！敝苋时硎?，微導納米正圍繞BC電池、HJT電池、鈣鈦礦電池等多種新型高效電池領域，持續(xù)完善技術儲備和產品，為全球光伏產業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展注入了新的動力。

如今，微導納米將ALD技術作為核心競爭力，并構建了以ALD技術平臺為基礎，通過產業(yè)化應用服務不同行業(yè)，形成以技術為核、多產業(yè)為翼的商業(yè)模式。這種模式的優(yōu)勢在于，目標行業(yè)市場規(guī)模大，如光伏、半導體等每個行業(yè)市場規(guī)模均達百億級，可為公司帶來穩(wěn)定的收入增長?！斑@樣可以幫助公司逐步突破單一行業(yè)的發(fā)展瓶頸，解決后期發(fā)展可能面臨的天花板問題。不同事業(yè)組合，可以降低單一周期性行業(yè)的波動風險。”微導納米董秘龍文表示，如果公司僅聚焦一個周期性行業(yè)，該行業(yè)在周期下行時，公司整體訂單和收入也會下滑，“而多產業(yè)組合可減弱單行業(yè)風險”。

隨著人工智能、自動駕駛、虛擬現(xiàn)實、柔性電子等新興產業(yè)加速發(fā)展，微導納米不斷探索在新興產業(yè)應用領域進行薄膜工藝相關專用設備和技術的研發(fā)，并逐步開展產品應用驗證，持續(xù)推動新興產業(yè)的技術進步，助力客戶在相關領域保持行業(yè)領先地位。

據了解，微導納米還將繼續(xù)探索尖端薄膜沉積技術在各新興應用領域的發(fā)展機會，如柔性鍍膜、芯片封裝、光學超低減反膜沉積、新能源等細分應用領域的薄膜沉積技術，“雖然目前這些領域的現(xiàn)有訂單量不大，但公司看好這些領域的市場潛力和技術應用前景?！蔽Ъ{米董秘龍文表示。

就在今年1月，微導納米創(chuàng)新研發(fā)的ALD量產設備順利發(fā)往歐洲某頭部芯片制造客戶，專用于其新型車載芯片的生產制造，再次實現(xiàn)國產高端設備逆向出口海外，標志著微導納米推動ALD技術在新興產業(yè)領域的應用又取得新的突破，為公司全球化及多元化發(fā)展布局增添新的動力。

今年4月15日，微導納米自主研發(fā)的專用于光學行業(yè)的ALD量產設備成功發(fā)往客戶現(xiàn)場進行產業(yè)化驗證，標志著微導納米在光學領域的技術研發(fā)取得新突破。該設備專為消費電子光學攝像頭、AR/VR光學透鏡、精密光學元器件等產品的薄膜沉積加工工藝而設計，助力攝像鏡頭等精密光學技術實現(xiàn)了迭代升級，也彰顯了微導納米以ALD技術為核心，持續(xù)挖掘技術創(chuàng)新潛力、探索新興行業(yè)應用的強大實力。